穿透式電子顯微鏡(HRTEM 3000F) 操作手札

1.      Load holder：sample亮面朝上→凸點對凸點插入頂住後聽到2聲→將AIR10 扳到Pump (先往外拉，再往上扳)，之後手繼續頂住直到SPC值降到200 Pa以下、V21燈亮才放手 (聽到第2聲表示 SPC 值200 Pa以下，聽到第3~4聲表示 SPC 值150 Pa以下)

2.      抽真空30min後 specimen綠燈要亮、填寫紀錄簿、若不到300kv用up調整

3.      保持後面指針不超過指標，Holder順時針轉30度→吸入約0.5cm→順時轉60度→ 連接Holder 訊號線

4.      電腦連線 : 輸入密碼 : selwt空格1 ，再輸入 ext 空格1

password	selwt空格1 (開)	ext空格1 (開)
	selwt空格0 (關)	ext空格0 (關)

5.      開GARTEN軟體(digital micro) ，如果開GARTEN時有跑出其他對話框時，看到啥對話框就按Enter

6.      開啟電子束: 按valve開電子槍閥→按Low MAG→按MAG1→用selector調到4 K→用Brightness檢查左聚右散Beam→用軌跡球找樣品→用selector調到40 K 以進入CL校正

7.      CL校正(重複甲乙數次)

甲、聚Beam縮到50元大小→用面板上”shift x、shift y”調到中央

乙、散Bean→用上方CL調Beam到中央

8.      按gun(右邊抽屜) 校正gun 1下3上 (倍率40 K下)

甲、Spot size調到3，調上面”shift x、shift y”將光束移到中間

乙、Spot size調到1，調下面”shift x、shift y”將光束移到中間

丙、重覆甲乙數次(直到光束在圓心中央不再移動)，回到spot size 1按掉gun

9.      倍率升到100K，找sample (建議找樣品的邊緣對焦)

10.  先找到sample的edge調整image

甲、按image X→調整Z使樣品不動→按掉image X

乙、按image Y→調整Z使樣品不動→按掉image Y

11.  按tilt(建議找sample的edge 操作)

甲、扳到tilt x 調整shift x(粗調)、DEF x(細調)使樣品邊緣重合消失

乙、扳到tilt y 調整shift y(粗調)、DEF y(細調)使樣品邊緣重合消失

丙、按掉tilt

12.  選區繞射，在倍率100K下選好要看的區域

甲、按右上面板Sam ROCK→DIF

乙、往圓弧的圓心方向將電子束拉過去/將菊池線焦點移置圓心中央(踩Po方向=弧到圓心方向/菊池線焦點移到圓心)

丙、同時軌跡球往反方向微調回來

丁、再調一下Brightness聚散Beam聚焦一下

戊、轉DIFF FOCUS使光束變圓

己、右下面按PROJ, 用下面的Shift X,Y將最亮的點移到中央黑點

(可按右上方面板Focus, 用小屏幕做)

採到正POLE之後不要再動軌跡球了

在按MAG1切回一般影像, 檢查Beam有無在中央, 用Shift X,Y再調回中央

13.  先找到sample直角，beam調到正中間且散開，按<升屏幕,

甲、右面板先調Focus使CRT裡面的影像白邊消失(step 1, 調外圈)

乙、按HT使CRT內影像晃動, 調上面shift X,Y(一次一方向)使樣品原地閃爍→按掉HT→按<降屏幕

14.  LCD螢幕, CAMERA INSERT打勾, 按下START ACQUIRE, 照完CAMERA INSERT勾取消

細調試片位置(在CAMERA INSERT與START ACQUIRE皆打勾情況下)

按下右下面板Image shift → DEF X與Y 調位置

細調光束位置(在CAMERA INSERT打勾情況下)

按下右下面板Bright shift → DEF X與Y 調位置

15.  如beam不太圓, 右下面板 condstig, 調下面DEF X,Y使BEAM圓一點，如果此時Z軸偏了，重複10~11步驟。

關機

16.  降到4000K→ Low MAG→散BEAM (按CROS) →按N

17.  將X,Y,Z,Tilt X,Tilt Y數值全調成0, 如果還不是零, 調到0(xy用小鍵盤，z 用左下面板按z鍵，tilt xy用腳踩)

18.  調到600k同時散beam (聽到逼聲)

19.  關Valve和蓋子

20.  Ext空格0 ENTER,關軟體, Selwt空格0 ENTER關y tilt, PF2 enter run enter降電壓

21.  退HOLDER

拉出來, 先六十度逆轉, 在出來一點, 三十度逆轉(不要拉，會破真空), 扳到AIR, 開鋼瓶, HOLDER垂下來, 關氣瓶

22.  關電視, 關CCD cold→warm到室溫→off

23.  插加熱棒 →按ACD heat